English目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應(yīng)用。干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。下面是螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)：
a、對被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真空
b、泵腔內(nèi)無油，非常容易實(shí)現(xiàn)對溶劑的回收或者排入焚燒爐內(nèi)焚燒。
C、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
D、單泵即可達(dá)到40Pa~5Pa的極限壓力，工作范圍較寬。
E、因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環(huán)境無污染。
F、對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小。
G、根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機(jī)組，可大大提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。
H、螺桿真空泵的級間無需通道，是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè)，在抽除可凝性氣體及粉塵等時(shí)不易堵塞且泵腔清洗非常方便：啟動(dòng)泵后直接從泵口充入惰性氣體或合適的清洗劑即可將泵清洗干凈。
I、螺桿真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性氣體。
